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富勒烯作为过渡层生长金刚石薄膜研究
采用微波等离子体化学气相淀积法,以C60膜过渡层,在光滑的单晶Si衬底(100)表面的研磨的石英衬底表面等光学衬底上,首次在无衬底负偏压条件下生长......
期刊
富勒烯
过渡层
金刚石
薄膜
Fullerene
intermediate layer
diamond film.
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